众所周知，半导体工厂设备投资占比非常大（多为进口设备，可占资本支出的60%-70%），且设备种类多、数量大，一旦异常停机则意味着巨大的损失；另一方面，半导体工厂的生产过程必须在洁净甚至无尘的环境下进行，以避免空气中的细小颗粒对设备与元器件造成污染导致产品可靠性与成品率的下降。

在此情况下，半导体工厂要如何做好设备的管理与维护工作呢？

尊龙官网登录人生就是博登录看到了半导体客户对于实现无人工厂、提升设备管理效率的需求，因此开发出RCM机台远程控制管理系统。通过RCM系统，工作人员可以在集控室直接操控多台设备，节省进出无尘室所耗费的大量时间，大大提高设备稼动率。

在这个过程中，RCM系统需要具备以下功能：

远程控制

通过RCM机台远程控制管理系统，对各个机台模组的运行状况进行数据分析与采集，并传输至集控室可视化显示，便于操作人员随时掌握机台运行状况与产线的生产过程详情，在必要时实现对机台模组远程控制管理，从而减少人员的进出，最大程度降低有机物对环境的污染。

KVM功能

半导体工厂要提高人机比，必须实现少量的操作人员管理大量机台设备。在集控室用一套键盘鼠标操作多台设备，也是减少人员进出生产车间的有利措施。

高清监控

除了通过RCM机台远程控制管理系统了解机台的各项运行数据外，集控室的工作人员还需要借助高清监控摄像机随时掌握车间环境与机台运行的实际状况，及时处理生产过程中出现的意外。

自动派工

通常情况下，通过OCR屏幕识别技术、RPA机器人流程自动化技术，已经可以自动实现简单重复的机台管理操作。针对必须去机台现场的情况（比如设备上下料等），可根据人员空闲情况及机台定位，精准派遣最近的工程师前去。

通过以上功能模块，RCM系统将助力半导体制造工厂提高工效，提升人机比例和机台产能，实现向少人化/无人化的智慧工厂迈进。

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